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    品質(zhì)是生命,服務(wù)是宗旨

    Quality is life, service is the tenet

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    PECVD

    更新時(shí)間:  2025-07-10

    產(chǎn)品型號(hào):  

    產(chǎn)品報(bào)價(jià):  

    所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)

    產(chǎn)品特點(diǎn):  PECVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜Z大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí),可將設(shè)備置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。

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    產(chǎn)品概述
      PECVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜Z大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí),可將設(shè)備置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。
     
      工作溫度:5~45?C
     
      zui大壓力:3x106 Pa
     
      精度: ±1.5% FS
     
      線性:±(0.5-1.5)%F.S
     
      重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
     
      流量范圍:
     
      一路:1~199 SCCM
     
      二路:1~499 SCCM
     
      PECVD注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用
     
      化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD1200C-II-SL200D50-5Z雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備技術(shù)參數(shù)
     

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