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    網站首頁  ◇  產品展示    ◇  CVD化學氣相沉積系統 ◇   CVD石墨烯制備 > LFT1400C 300D602ZLV CVD薄膜材料制備
    薄膜材料制備

    更新時間:  2025-07-10

    產品型號:  LFT1400C 300D602ZLV CVD

    產品報價:  

    所  在  地:  合肥市新站區穎河路22號

    產品特點:  薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境。該設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡便快捷,是各大材料實驗室的理想設備之一。

    (聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝!)
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    產品概述

    一、設備特點:

    薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環境。該設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡便快捷,是各大材料實驗室的理想設備之一。

    1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無機材料,不含污物,潔凈,美觀。

    2、采用模糊PID控制精準控制,溫場均勻,燒結成品一致性好。

    3、爐體采用雙層風冷機構,爐子燒到最高溫度時,殼體表面溫度低于60度。

    4、爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節能。

    二、技術參數:

    名稱

    規格

    單溫區真空管式爐CVD系統  

    單溫區真空管式爐

    爐管尺寸

    Φ60×1000mm 更多其他規格剛玉管可選(Φ50/60/80/100mm等)

    主要參數

    最高溫度: 1400℃

    工作溫度: 1300℃

    推薦升溫速率:≤10℃/min

    加熱區長度: 300mm

    額定功率:4KW

    電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz

    爐體結構

    雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

    高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節約能源

    爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命

    溫控系統

    模糊PID控制和自整定調節功能

    智能化30段可編程控制

    具有超溫及斷偶報警功能

    控溫精度: ±1 ℃

    S型熱電偶

    可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集(需另購)

     

    溫控儀表(可選)

    標配儀表品牌為宇電,可選定其他品牌溫控儀表,如島電等。

    管堵

    多種規格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。

    密封系統

    爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

    如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數顯真空計(需另外訂購)

    備注:本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

    出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

    擴展端口

    如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭

    真空度

    雙極旋片機械泵:10^-1Pa

    分子泵機組:10^-3 Pa

    可選配本公司配套高低真空

    二路質量流量控制系統

    MFC-2Z

    電壓

    220VAC  單相  50/60Hz

    針閥材質

    316不銹鋼

    量程

    50sccm、100sccm(可根據工藝要求提供多種量程選擇)

    工作溫度

    5~45℃

    外型尺寸

    600(L) x 600(W) x 750(H) mm

    電壓

    AC220V/50Hz單相

    功率

    23W

    真空系統

    LVU-10

    殼體尺寸

    600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

    最大承載量

    1000 Lbs

    抽氣速率

    10m³/h

    極限真空度:10-1Pa

    雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

    質保期

    一年保修,終身技術支持。

    特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

    相關應用

    爐膛內襯可以單獨更換(額外付費)

    可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子

    應用注意事項

    爐管內氣壓不可高于0.02MPa

    由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

    當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

    進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

    石英管的長時間使用溫度<1100℃

    對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


     

     

     

     

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